泰勒霍普森PGI輪廓儀信息

泰勒霍普森PGI輪廓儀采用相位光柵干涉測量技術(shù)（PGI），結(jié)合高穩(wěn)定性機械結(jié)構(gòu)與精密光學(xué)系統(tǒng)，實現(xiàn)非接觸或接觸式表面形貌的納米級測量。其垂直分辨率達0.1納米，水平分辨率優(yōu)于0.1微米，專為超光滑表面（如光學(xué)鏡片、半導(dǎo)體晶圓）設(shè)計，同時滿足粗糙度（Ra、Rz等）與宏觀輪廓（曲率半徑、傾角、臺階高度）的測量需求。

PGI系列的核心優(yōu)勢在于多功能一體化平臺，支持表面粗糙度參數(shù)（ISO 4287/21920標(biāo)準(zhǔn)）、輪廓形狀分析（球面、非球面、自由曲面）、臺階高度與薄膜厚度測量，以及波紋度與形狀誤差評估。配套專業(yè)分析軟件提供直觀的3D/2D可視化界面，支持自動報告生成、數(shù)據(jù)比對及SPC統(tǒng)計過程控制，符合ISO/GPS標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)輸出。